题目内容：

携手节能低碳，共建碧水蓝天，“保护环境， 化学有责”。请运用所学化学知识回答下列问题:

（1）氟利昂（主要用作制冷剂）曾广泛使用于冰箱空调作为制冷剂，极大地方便了人们的生活，但人类发明并使用氟利昂若干年后，科学家发现氟利昂进入大气层后,在紫外线照射下分解出的氯原子能消耗臭氧，其破坏臭氧的循环示意图如下图所示：

①写出臭氧的化学式________，臭氧与氧气化学性质不同的原因是________。

②图中三步反应中不属于化合反应的是（填序号）________。

③经过上述①②③的反应过程后，反应物氯原子的个数_________（填“是”或“不”）发生变化。

④写出③反应的化学方程式_________。

（2）经过各国科学家的努力，目前制冷剂氟利昂CFC-12 （化学式为CF2C12），最佳的替代品是HFC-134a（化学式为CF3CH2F），其中氟里昂里面的氯被氟取代了。所以“无氟冰箱”，准确地说应该叫“无氯冰箱”。

①从原子结构分析，科学家们用氟元素取代氯元素制造新型制冷剂的原因是_______。

②生产氟利昂HFC-134a的一种 重要原料是四氟化碳（CF4）， 它还是电路板、绝缘物质和半导体制造的重要原料。在实验室内，四氟化碳可由碳化硅和氟气在一定条件下发生置换反应制得，请写出化学方程式______。