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晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对二氧化硅的高选择性。超薄的（）使得在刻蚀多晶硅电极时...

2024-03-30   64次  集成电路制造工艺员三级    反馈错误   加入收藏   正确率 : 100%  

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