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粗硅提纯常见方法之一是先将粗硅与HCl反应制得SiHCl3,经提纯后再用H2还原:SiHCl3(g)+H2(g) Si(s)+3HCl(g)。在2L密闭容器中,不同温度及不同n(H2)/n(SiHCl...

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