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工业上用化学气相沉积法制备氮化硅,其反应如下:3SiCl4(g)+2N2(g)+6H2(g)Si3N4(s)+12HCl(g) ΔH<0 某温度和压强条件下,分别将0.3 mol SiCl4(g)、0...

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